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J-GLOBAL ID：200903014343796117

薄膜硬度測定法

Inventor： 秋田 典孝
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 佐藤 祐介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001315199
Publication number (International publication number)：2003121364
Application date： Oct. 12, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 DLC膜、ta-C膜など、高硬度の膜厚50nm以下の薄膜について、きわめて短時間にその硬度を測定する。【解決手段】 成膜したサンプル1の膜厚dを測定するステップ2と、同サンプル1につきラマン分光測定するステップ3と、これらで得た膜厚dとGピーク強度Igおよびラマン分光測定の際の露光時間tを用いて行う演算ステップ4とを備える。この演算ステップ4では、Gピーク強度Igの平方根の逆数をd、tで補正した値Raman(Ig)を求め、このRaman(Ig)が膜硬度Hと直線近似の関係にあることを利用し、Raman(Ig)の1次関数である近似式によって膜硬度Hを求める。

Claim (excerpt)：

サンプルの膜厚dを測定するステップと、同サンプルにつきラマン分光測定するステップと、ラマン分光測定によって得たGピーク強度Igとそのラマン分光測定の際の露光時間tと上記の膜厚dとを用い、Gピーク強度Igの平方根の逆数をd、tで補正した値Raman(Ig)を求めるとともに、Raman(Ig)が膜硬度Hと直線近似の関係にあることを利用し、Raman(Ig)の1次関数である近似式によって膜硬度Hを求める演算を行うステップとを備えることを特徴とする薄膜硬度測定法。

F-Term (7)：

2G043AA03 ,  2G043AA06 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043NA01