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J-GLOBAL ID：200903014345797153

超純水洗浄システム

Inventor： 常田 晴弘 ,  筒井 徳久 ,  中村 優樹 ,  佐藤 史朗
Applicant, Patent owner： 株式会社三協精機製作所
Agent (1)： 村瀬 一美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003312991
Publication number (International publication number)：2004174485
Application date： Sep. 04, 2003
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】 小型化する。エネルギー効率を向上させる。【解決手段】 ワークを個別に把持し載置しあるいは吸着する搬送腕を有しワークを所定の位置に搬送する搬送装置と、この搬送装置を中心とした周囲に放射状に配置された複数の洗浄槽とを備える洗浄装置に用いられ、45°C以上に加温された超純水をワークの洗浄に用いるとともに洗浄後の排水を加温された状態のまま再生し循環させる。洗浄後の排水を再生する手段として耐熱性のイオン交換樹脂を使用することが好ましい。また、洗浄に使用される以外の超純水を循環路側に戻すバイパス管19を備えていることが好ましい。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

ワークを個別に把持し載置しあるいは吸着する搬送腕を有し上記ワークを所定の位置に搬送する搬送装置と、この搬送装置に近接して配置された複数の洗浄槽とを備える洗浄装置に用いられ、45°C以上に加温された超純水を上記ワークの洗浄に用いるとともに洗浄後の排水を加温された状態のまま再生し循環させる超純水生成装置を備えたことを特徴とする超純水洗浄システム。

IPC (2)：

B08B3/04 ,  C02F1/42

FI (3)：

B08B3/04 B ,  C02F1/42 A ,  C02F1/42 C

F-Term (23)：

3B201AA46 ,  3B201AB13 ,  3B201AB47 ,  3B201BB02 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CB15 ,  3B201CC12 ,  3B201CC15 ,  3B201CD22 ,  4D025AA04 ,  4D025AA09 ,  4D025AB02 ,  4D025BA13 ,  4D025BA22 ,  4D025BB01 ,  4D025BB18 ,  4D025CA01 ,  4D025DA01 ,  4D025DA03 ,  4D025DA05