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J-GLOBAL ID：200903014363417163
超低力原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大谷 保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993084343
Publication number (International publication number)：1995270434
Application date： Apr. 12, 1993
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】 プローブの先端を共振周波数および振幅目標値で振動させ、試料に接触した状態で試料の表面を走査させ、プローブの振動の振幅が試料の表面のトポグラフィーに関連して変化するようにした、原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 プローブの振動の目標振幅を10nmより大きくして、片持ち梁のエネルギーが試料表面に衝突することによって各周期で失われるエネルギーよりずっと高くなるように保証し、それによってプローブの先端が試料表面に粘着されるのを防止する。データは、設定された目標値を維持するために生成される制御信号に基づき、あるいはプローブの振動振幅の変化の関数として直接に、得ることができる。
Claim (excerpt)：
レバーアームに取り付けられたプローブ先端を含むプローブを試料の表面で走査させ、プローブ先端が走査するときのレバーアームの位置に関連して試料の表面を反映するデータを収集する原子間力顕微鏡を作動させる方法において、前記方法が、プローブを前記プローブの共振周波数またはその付近、あるいは前記共振周波数の調波またはその付近で振動させる段階と、振動プローブが試料の表面に接触し、プローブの振動の振幅が試料表面との衝突による影響を受けて、試料の表面のトポグラフィーの変化を示す信号を生成するように、振動プローブを試料の表面で並進させる段階と、前記並進段階で生成された信号に関連して試料の表面を表わすデータ値を決定する段階と、から成る原子間力顕微鏡の作動方法。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
