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J-GLOBAL ID：200903014421529465

超伝導高周波共振器およびフィルター

Inventor： 瀬恒 謙太郎 ,  榎原 晃 ,  佐川 守一 ,  牧本 三夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992101440
Publication number (International publication number)：1993299914
Application date： Apr. 21, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 超伝導薄膜として例えば銅酸化物系材料を用いて高周波伝送線路を形成し、さらに前記伝送線路の形状を解放端を有するループ形状の伝送線路とすることにより、小型の共振器を得る。【構成】 高周波伝送線路を超伝導薄膜により形成し、前記高周波伝送線路をループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路から構成される単一線路により構成する。例えばMgO基板1上にBi-Sr-Ca-Cu-O超伝導薄膜2をスパッタ蒸着法、レーザアブレィション法、電子ビーム蒸着法、CVD法などで形成する。熱処理後金属薄膜3を蒸着し、その上にループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路を形成する。次に金属薄膜4を蒸着し、高周波回路装置とする。

Claim (excerpt)：

基板と、この基板表面に形成された高周波伝送線路とを少なくとも備えた高周波線路装置であって、前記高周波伝送線路を超伝導薄膜により形成し、前記高周波伝送線路をループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路から構成される単一線路により構成したことを特徴とする超伝導高周波共振器。

IPC (6)：

H01P 7/08 ZAA ,  C01G 1/00 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA ,  H01P 1/203 ZAA ,  H01P 11/00 ZAA