誘導結合プラズマ質量分析装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高矢諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996266135
Publication number (International publication number)：1998097838
Application date： Oct. 07, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】イオンレンズ部における、質量選択部へのイオン伝達効率を向上すると共に、調整を簡単化する。【解決手段】イオンレンズ部40の少なくとも一部を、極数が4以上のマルチポールイオンビームガイド100、110、112、112B、120とする。

Claim (excerpt)：

試料を霧化して、イオン化部に導入するための試料導入部と、該試料導入部からキャリアガスと共に運ばれてきた試料中の元素をイオン化するための、トーチを含むイオン化部と、大気圧下の該イオン化部でイオン化された元素をサンプリングして、真空下のイオンレンズ部に導入するためのインターフェース部と、該インターフェース部を通過したイオンを収束して質量選択部に導入するための、イオンビームガイドを含むイオンレンズ部と、該イオンレンズ部から導入されるイオンを、測定質量数毎に分けるための、マスフィルタを含む質量選択部と、該質量選択部を通過してきた測定質量数のイオンを計数するイオン検出部とを備え、前記イオンレンズ部の少なくとも一部を、電極ロッド数が4本以上のマルチポールイオンビームガイドとしたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。

IPC (4)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 , H01J 49/26 , H01J 49/42

FI (5)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 L , G01N 27/62 G , H01J 49/26 , H01J 49/42

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

高周波四重極装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-218844 Applicant：日新電機株式会社
特開昭62-264546
ビームガイド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-135460 Applicant：日本電子株式会社

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