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J-GLOBAL ID：200903014501752009
反射防止性を有する光学部材の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 静男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994199571
Publication number (International publication number)：1996062401
Application date： Aug. 24, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 耐擦傷性、密着性および耐熱性に優れた反射防止膜を有する光学部材を生産性良く製造する方法を提供する。【構成】 有機金属化合物の種類および/または有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を変化させるプラズマ重合法により、光学基材上に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる反射防止膜を形成する工程を含むことを特徴とする反射防止性を有する光学部材の製造方法。
Claim (excerpt)：
有機金属化合物の種類および/または有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を変化させるプラズマ重合法により、光学基材上に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる反射防止膜を形成する工程を含むことを特徴とする反射防止性を有する光学部材の製造方法。
Patent cited by the Patent：
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