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J-GLOBAL ID：200903014505881075

透明導電体及びその製造方法

Inventor： 北村 真 ,  蔦尾 友重 ,  宮本 和明
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994184556
Publication number (International publication number)：1996050815
Application date： Aug. 05, 1994
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】高温高湿下で使用しても電気抵抗値の経時変化が小さく、信頼性の優れた透明導電体を提供する。【構成】周期律表VB族又はVIB族の元素がドープされた酸化亜鉛膜からなり、該元素を元素原子と亜鉛原子との合計原子数に対して0.1〜10原子%含有する透明導電膜が基材上に積層されている。

Claim (excerpt)：

周期律表VB族又はVIB族の元素がドープされた酸化亜鉛からなり、該元素を元素原子と亜鉛原子との合計原子数に対して0.1〜10原子%含有する透明導電膜が基材上に積層されていることを特徴とする透明導電体。

IPC (5)：

H01B 5/14 ,  C01G 9/02 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 透明導電膜とその製造方法およびそれに用いるターゲット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-355858   Applicant：三菱マテリアル株式会社
• 特開平4-088169
  
• 特開昭61-250166