Pat
J-GLOBAL ID：200903014506475445
露光ヘッド
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004214404
Publication number (International publication number)：2005062847
Application date： Jul. 22, 2004
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：
【課題】 空間光変調素子により表示される光学的なパターン情報を広い露光面積にわたって高分解能及び高解像度で露光する。【解決手段】 露光ヘッドでは、第1マイクロレンズアレイ206に、DMD50における複数のマイクロミラー62に対応するように複数のマイクロレンズ208が配列されると共に、マイクロレンズ208のアパーチャアレイ210が、複数の第1のマイクロ収束素子にそれぞれ対応するように配列された複数のアパーチャ212によりフラウンホーファー回折像の主要部分のみを透過させ、さらに第2マイクロレンズアレイ214のマイクロレンズ216がアパーチャ212を透過したフラウンホーファー回折像の主要部分を露光面56上に結像する。これにより、クロストーク光や散乱光を効果的に減少させつつ、アパーチャアレイ210を通して露光面56上に投影されるビームスポットのビーム径を所要のサイズに調整できる。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
露光面に対して走査方向に沿って相対移動しつつ、該露光面を前記走査方向と交差する行方向に沿って配列された光ビームの束により露光面を2次元的に露光するための露光ヘッドであって、
制御信号に応じて光変調状態がそれぞれ変化する複数の画素部が一次元的又は2次元的に配列され、光源部から入射した光ビームを前記複数の画素部により複数本の画素ビームに分割すると共に、複数本の画素ビームをそれぞれ露光状態及び非露光状態の何れかに選択的に変調する空間光変調素子と、
前記空間光変調素子における複数の画素部に対応するように複数の第1のマイクロ収束素子が配列された第1のマイクロ収束素子アレイと、
前記露光状態に変調された画素ビームのフラウンホーファー回折像が前記第1のマイクロ収束素子により形成される該第1のマイクロ収束素子の後側焦点面付近に配置されると共に、前記複数の第1のマイクロ収束素子にそれぞれ対応するように複数のアパーチャが配列され、該アパーチャにより前記フラウンホーファー回折像の主要部分のみを透過させるアパーチャアレイと、
前記複数のアパーチャに対応するように複数の第2のマイクロ収束素子が配列され、前記複数のアパーチャをそれぞれ透過した画素ビームの実像を前記複数の第2のマイクロ収束素子により前記露光面上に形成する第2のマイクロ収束素子アレイと、
を有することを特徴とする露光ヘッド。
IPC (2)：
FI (2)：
G03F7/20 505
, B41J3/00 D
2C362BA29
, 2C362BA86
, 2C362CB71
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BB01
, 2H097CA03
, 2H097CA06
, 2H097CA17
Cited by applicant (2)
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米国特許公報6,133,986(Fig.14)
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米国特許公報6,473,237 B2(Fig.15)
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