Pat

J-GLOBAL ID：200903014512494575

二重壁式マイクロ波プラズマアプリケータ

Inventor： ハラルド ハーシェン
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997030527
Publication number (International publication number)：1997312285
Application date： Feb. 14, 1997
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 クーラントを熱放射源からできるだけ近接させ、プラズマの冷却を最適化しイオン及び電子の密度を低減し、真空プロセスチャンバからの反応性種の出力を最大にする。【解決手段】 本発明では、プラズマは、熱放出の程度の高い第1のサファイア部材の中に収容される。第1の部材は、熱エネルギーを典型的にはスペクトルの赤外領域で放射するプラズマにより充分に加熱される。熱エネルギーは、狭い低圧ギャップの全体に放射され、第1の部材を囲む熱透過性の高い同心の第2のサファイア部材の中に進む。この狭いギャップにより、例えばギャップの中の熱伝導媒体を介しての熱的接触による第1の部材から第2の部材への熱の伝導が最小になる。

Claim (excerpt)：

プラズマアプリケータであって、その中でプラズマが生成する第1の部材と、前記第1の部材を囲む第2の部材であって、前記第1の部材と前記第2の部材の間に第1のギャップが画成され、前記第1の部材の中の前記プラズマにより静電チャック発生した熱エネルギーが前記第1のギャップの全体に放射することができ、前記熱エネルギーが前記第2の部材を介して放射される、前記第2の部材と、前記第2の部材を囲む第3の部材であって、前記第2の部材と前記第3の部材の間に第2のギャップが画成され、前記第1の部材から前記第1のギャップの全体に放射される前記熱エネルギーを吸収するクーラント流体が前記第3のギャップの中に循環する、前記第3の部材とを備えるプラズマアプリケータ。

IPC (2)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

FI (2)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/205