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J-GLOBAL ID：200903014549851602

インクジエツトヘツドの製造方法

Inventor： 古田 達雄
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991154594
Publication number (International publication number)：1993004346
Application date： Jun. 26, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】 従来の電鋳法により製造されたノズル形成部材の2段目、即ち間隙形成部のパターニング跡としてできる空間に気泡が取り込まれ易く、除去しづらいため、この空間をなくし、気泡の停留しづらい構造が製造できる方法を提供することで、インク滴の気泡による飛翔特性の変動を起さず、印字品質の優れたインクジェットヘッドを製造可能とした。【構成】 1)ステンレスのマスター基板101にレジスト102を形成する。2)第1層1cのニッケルメッキを成長させる。3)レジスト102を除去し、フィルムレジスト104をラミネートする。4)第1層1cの上にさらに間隙形成部1bを形成する。5)フィルムレジスト104を剥離し、マスター101を遊離させ、オーバーハングのない断面をもつ、ノズル形成部材1を得る。

Claim (excerpt)：

複数のノズル開口部とこれに対応させた圧力発生器を有し、圧力発生器を動作させることで、ノズル開口部と圧力発生器の間に満たしたインクの圧力を高めノズル開口部から吐出させ、該ノズル開口部を有するノズル形成部材を2層以上の電鋳法で製造するインクジェットヘッドの製造方法において、少なくとも2層目以降のパターニングを電鋳層以上の厚みをもつレジストで行なうことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (2)：

B41J 2/16 ,  B05B 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特表昭63-502015
  
• 特開昭57-205166