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J-GLOBAL ID：200903014567014483
ウエハ位置の計測ユニットならびにウエハアライメント ユニットおよび方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994263741
Publication number (International publication number)：1996124995
Application date： Oct. 27, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】ウエハのハンドリングにおいてウエハのセンタリング・アライメントを非接触かつ高速で行う。【構成】帯状光を出射する投光センサと、投光センサからの帯状光を受光するフォトディテクタを有する受光センサと、投光センサと受光センサの6セットを帯状光がウエハと同径の円周上の6箇所に且つ長手方向が放射状になるように等配し、受光センサの受光量からウエハの中心位置を求める。ロボットのハンドでウエハを保持し、ハンドの中心とウエハの中心のずれを求め、正規位置からそのずれ分だけ逆にシフトしてハンドを位置決めしてウエハを正規位置に位置決めする。
Claim (excerpt)：
互いに光軸が平行でそれぞれの幅方向が放射状に配置され光軸に垂直な平面とそれぞれの光軸の交点がウエハの外形と同一径の円周上に60度の中心角ごとに等配で配置された6本の帯状光を出射する投光センサと、前記6本の帯状光の対応するものをそれぞれが受光する6個の受光センサと、前記6個の受光センサの受光量から前記帯状光の光軸に垂直な平面上で中心が6本の前記帯状光の中心にほぼ位置するように置かれた前記ウエハの外周と前記帯状光との交点の位置を求め、前記ウエハの外周と前記帯状光との交点の前記帯状光の光軸からのずれ量が大幅に異なる対向するものを除いた前記帯状光の前記ウエハの外周の交点から前記ウエハの中心位置を求める制御部とを含むことを特徴とするウエハ位置の計測ユニット。
IPC (6)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B25J 13/08
, B25J 15/08
, B65G 49/07
, G01B 11/00
