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J-GLOBAL ID：200903014570631558

顕微鏡の暗視野照明装置および暗視野照明方法

Inventor： 宮下 智裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000209601
Publication number (International publication number)：2002023061
Application date： Jul. 11, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 十分な明るさを有し且つ明るさのムラが良好に抑制された暗視野照明を行うことのできる装置および暗視野照明方法を提供すること。【解決手段】 顕微鏡の暗視野照明装置に、観察される物体を照明する照明光を供給するための光源と、光源からの光束を環状の断面を有するほぼ平行な光束に整形するための整形光学系と、環状の断面を有するほぼ平行な光束を複数の発散光束に変換するための発散光学素子と、発散光束を集光して物体面上で重ね合わせるための集光光学素子と、を配置して構成する。発散光学素子として、回折光学素子又はマイクロレンズアレイを用いるのが好ましい。

Claim (excerpt)：

観察される物体を照明する照明光を供給するための光源と、前記光源からの光束を環状の断面を有するほぼ平行な光束に整形するための整形光学系と、前記環状の断面を有するほぼ平行な光束を複数の発散光束に変換するための発散光学素子と、前記発散光束を集光して物体面上で重ね合わせるための集光光学素子と、を備えていることを特徴とする顕微鏡の暗視野照明装置。

F-Term (7)：

2H052AC02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC06 ,  2H052AC17 ,  2H052AC18 ,  2H052AC25 ,  2H052AC27