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J-GLOBAL ID：200903014620216743
湿度センサの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991227415
Publication number (International publication number)：1994294765
Application date： Sep. 06, 1991
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、測定精度の高い湿度センサを提供することを目的とする。【構成】 本発明では、感湿膜としての高分子膜の前駆体を塗布したのち、縮合のための熱処理に先立ち、上部電極としての金属膜を十分な厚さとなるように形成し、この後前駆体縮合のための熱処理を行うようにしている。
Claim (excerpt)：
基板表面に、感湿膜となる高分子膜の前駆体を塗布する前駆体塗布工程と、この前駆体の上層に電極を形成する電極形成工程と、前記前駆体に縮合反応を生起するように熱処理を行う熱処理工程とを含むことを特徴とする湿度センサの製造方法。
IPC (2)：
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