Pat

J-GLOBAL ID：200903014625355644

走査プローブ型顕微鏡装置

Inventor： 小貫 哲治 ,  鈴木 正敏 ,  藤井 透 ,  松代 弘之 ,  大久保 英昭
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992069401
Publication number (International publication number)：1993079814
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 試料表面と走査プローブ先端の光学像を同時観察することができ、かつ、振動の影響を受けることなく高い分解能を達成することが可能な走査プローブ型顕微鏡を提供する。【構成】 試料1は、防振台12上に、xyステージ,zステージを備えて配置された試料ホルダ9上に載置される。光学顕微鏡は、防振台12に設置された防音・電磁シールドカバー14によって支持され、試料1の上方に配置される。走査トンネル顕微鏡のプローブ2は、防振台12に設置されたコラム16によって両持ち梁の構造で支持され、光学顕微鏡の対物レンズ3aに設けられた孔内に配置される。即ち、プローブ2は、光学顕微鏡とは分離された状態で、光学顕微鏡の視野内に配置されている。

Claim (excerpt)：

試料表面を走査するプローブと、該プローブ及び前記試料表面を観察するための光学顕微鏡とを備えた走査プローブ型顕微鏡装置において、前記プローブと前記光学顕微鏡とが、別々の支持部材に支持されるとともに、前記プローブが前記光学顕微鏡の視野内に配置されたことを特徴とする走査プローブ型顕微鏡装置。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28