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J-GLOBAL ID:200903014626293812

炭素被覆、炭素被覆を施す方法および装置、およびその様な被覆を施した物品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000339168
Publication number (International publication number):2002161352
Application date: Nov. 07, 2000
Publication date: Jun. 04, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】耐磨耗性を有する炭素-炭素結合が大部分グラファイト状sp2形態である新規炭素被覆方法を提供する。【解決手段】少なくとも1個以上の炭素ターゲットを使用し、被覆する基材に印加するイオン電流密度を0.5mA/cm2を超える電流密度でスパッターイオンプレーティングすることにより、湿潤条件下で10-16m3/Nm未満の国有磨耗率を有する炭素含有被覆を製造する。物品22の上にクロム層24を堆積させて、被覆と物品の密着性をよくし、その上に炭化クロム層26がある。最外層にグラファイト状の層28Cr×Cyが被覆されている。
Claim (excerpt):
被覆中の炭素-炭素結合が大部分グラファイト状sp2形態であり、かつ、該被覆が、湿潤条件下で10-16m3/Nm未満の固有摩耗率を有する、炭素含有被覆を施した物品。
IPC (3):
C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/35
FI (5):
C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/34 R ,  C23C 14/34 C ,  C23C 14/35 C
F-Term (11):
4K029BA07 ,  4K029BA34 ,  4K029BA55 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029JA02

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