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J-GLOBAL ID：200903014642258172

コンデンサ装置及び該コンデンサ装置の製法

Inventor： ヴォルフラム ヴェルジング ,  ライナー ブルッフハウス
Applicant, Patent owner： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994255208
Publication number (International publication number)：1995161838
Application date： Oct. 20, 1994
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高集積半導体記憶装置部材の製造に使用されるコンデンサ装置及び該コンデンサ装置の製法。【構成】 コンデンサ誘電体が単結晶強誘電層であり、かつ電極が基板に対して垂直に配置されている。

Claim (excerpt)：

単結晶半導体基板(1)上のコンデンサ装置において、コンデンサ誘電体が単結晶強誘電層(5)であり、かつ電極(6)が基板(1)に対して垂直に配置されていることを特徴とする、コンデンサ装置。

IPC (4)：

H01L 21/8242 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2)：

H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/04 C