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J-GLOBAL ID：200903014659914847

高周波キャリア型薄膜磁界センサ

Inventor： 薮上 信 ,  荒井 賢一 ,  石山 和志 ,  小澤 哲也 ,  村山 芳隆
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (5)： 重信 和男 ,  加古 進 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006062002
Publication number (International publication number)：2007240289
Application date： Mar. 08, 2006
Publication date： Sep. 20, 2007
Summary：

【課題】高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化【解決手段】(a)は伝送線路型の高周波キャリア型薄膜磁界センサ250の構成を示す。グランドプレーン256上に高周波を通電させる伝送線路254を構成する。その上に磁性薄膜252を載せることにより、直接磁性薄膜252に通電して起こる磁化の飽和を回避しながら、表皮効果を利用した磁気検出が行える。この伝送線路254は、その形状で定まる共振の周波数がある。伝送線路254を流す搬送波電流の周波数を共振周波数とすることにより、センサをより高感度とすることができる。(b)は、このセンサ250を用いた測定系の構成を示す。制御解析装置210には、X-Yステージ230の制御系も組み込まれている。また、制御回析装置210は制御解析用コンピュータ220に接続され、全体の制御を行うとともに、測定結果の解析・表示等も行う。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

磁性薄膜と、 前記磁性薄膜の近傍に設けた搬送波電流を流す、共振周波数を有する伝送線路と を備えた高周波キャリア型薄膜磁界センサであって、 前記伝送線路に流す搬送波電流の周波数は、前記伝送線路の共振周波数であり、 前記高周波キャリア型薄膜磁界センサのインピーダンス変化により磁界を測定することを特徴とする高周波キャリア型薄膜磁界センサ。

IPC (2)：

G01R 33/02 ,  H01L 43/00

FI (2)：

G01R33/02 D ,  H01L43/00

F-Term (9)：

2G017AA02 ,  2G017AD54 ,  5F092AA01 ,  5F092AB01 ,  5F092AC01 ,  5F092AD08 ,  5F092BD03 ,  5F092BD04 ,  5F092CA23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 磁気検出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-246727   Applicant：株式会社トーキン, 荒井賢一