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J-GLOBAL ID：200903014666918432

半導体加速度センサー

Inventor： 松永 忠雄 ,  国見 敬 ,  根津 正弘 ,  森 雅友
Applicant, Patent owner： 曙ブレーキ工業株式会社
Agent (1)： 沼形 義彰 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996270496
Publication number (International publication number)：1998115635
Application date： Oct. 14, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 感度の調整可能な、スイッチング動作を行う小型で扱い容易な半導体加速度センサーを提供する【解決手段】 短冊状の可動電極側半導体基板1と固定電極側半導体基板2を積層してなり、可動電極側基板1に、重錘部5および肉薄の片持梁部6を設けるとともに、前記重錘部5上に可動電極3を、前記片持梁部6上に第1の静電吸引電極30をそれぞれ設け、固定電極側基板2に、前記可動電極3に対向する位置に固定電極4を、前記静電吸引電極30に対向する位置に第2の静電吸引電極40をそれぞれ設けた半導体加速度センサーにおいて、第1の静電吸引電極および第2の静電吸引電極を相対向して設け、両静電吸引電極間に所定の間隙を設けるとともに、両静電吸引電極間に所定の電圧を印加するようにした。

Claim (excerpt)：

短冊状の可動電極側半導体基板と固定電極側半導体基板を積層してなり、可動電極側基板に、重錘部および肉薄の片持梁部を設けるとともに、前記重錘部上に可動電極を、前記片持ち梁部上に第1の静電吸引電極をそれぞれ設け、固定電極側基板に、前記可動電極に対向する位置に固定電極を、前記静電吸引電極に対向する位置に第2の静電吸引電極をそれぞれ設けた半導体加速度センサーにおいて、第1の静電吸引電極および第2の静電吸引電極を相対向して設け、両静電吸引電極間に所定の間隙を設けるとともに、両静電吸引電極間に所定の電圧を印加するようにしたことを特徴とする半導体加速度センサー。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 衝撃検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-177084   Applicant：デルコ・エレクトロニクス・コーポレーション
• 加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-255918   Applicant：アルプス電気株式会社