Pat
J-GLOBAL ID：200903014677886478
ウエハ表面保護シートおよびその利用方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993338626
Publication number (International publication number)：1995201787
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：
【要約】【構成】 本発明のウエハ表面保護シートは、熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、(i)部分中和型カルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、(ii)アニオン性および/またはカチオン性の液状界面活性剤と、必要に応じ、(iii)非イオン性界面活性剤とからなる水膨潤性粘着剤層が設けられてなる。【効果】 ウエハの裏面研摩時あるいは切断時に発生する研摩屑あるいは切断屑から、ウエハ表面の回路パターンを効果的に保護できる。また容易に剥離することができ、残留した粘着剤を簡単に洗い落せる。
Claim (excerpt)：
熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、(i)少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、(ii)アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも1種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ表面保護シート。
IPC (7)：
H01L 21/304 321
, C09J 7/02 JHR
, C09J 7/02 JJT
, C09J 7/02 JJW
, C09J 7/02 JKK
, C09J 7/02 JLF
, H01L 21/301
Cited by examiner (8)
Show all
Return to Previous Page
