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J-GLOBAL ID：200903014684193062

表面粗さ評価方法

Inventor： 伊藤 考治郎 ,  梅田 信行
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993011228
Publication number (International publication number)：1994221838
Application date： Jan. 27, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 表面粗さ評価方法に関し,表面凹凸の特徴を定量的に評価することを目的とする。【構成】 被測定面1aの表面凹凸を,波数をパラメータとするフーリェ変換によりスペクトルに変換し,特徴的スペクトルが現出する所定の波数域についてスペクトルを比較し,比較の結果を表面粗さの評価値とする。

Claim (excerpt)：

表面粗さ計を用いて被測定面(1a)の形状を線分に沿って測定する工程と,測定された該被測定面(1a)の形状を,該線分に沿う長さを変数とし,波数をパラメータとするフーリェ変換によりスペクトルに変換する工程と,予め指定された波数範囲内における該スペクトルの強度に基づき表面粗さを評価する工程とを有することを特徴とする表面粗さ評価方法。