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J-GLOBAL ID：200903014756254150

外部共振器型周波数可変半導体レーザ光源

Inventor： 北村 厚
Applicant, Patent owner： 安藤電気株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993260446
Publication number (International publication number)：1995099359
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 半導体レーザの発振周波数を高分解能で設定する外部共振器型周波数可変半導体レーザ光源を提供する。【構成】 半導体レーザ1の一方の端面に無反射膜1Aを施し、無反射膜1Aを施した端面からの出射光を入射する回折格子3を回転ステージ4上に固定し、平行移動ステージ5は平行移動機構ドライブ回路11で回転ステージ4を半導体レーザ1の光軸方向に平行移動させる。周波数設定部9は半導体レーザ1の発振周波数を任意に設定し、ビームスプリッタ8は半導体レーザ1の他の一方の端面からの出射光2Aを透過光2Cと反射光2Dに2分岐し、光学干渉計14は反射光2Dを入射して干渉出力光2Eを出射する。光検出器15は干渉出力光2Eを入射し、干渉信号に変換して干渉信号処理部16に入力し、干渉信号をカウントして干渉縞数に比例した処理信号を出力する。比較器10で周波数設定部9からの設定信号と干渉信号処理部16からの処理信号とを比較して平行移動機構ドライブ回路11へ帰還する。

Claim (excerpt)：

一方の端面に無反射膜(1A)を施す半導体レーザ(1) と、回転ステージ(4) 上に固定し、無反射膜(1A)を施した端面からの出射光を入射する回折格子(3) と、回転ステージ(4) を半導体レーザ(1) の光軸方向に平行移動させる平行移動ステージ(5) と、平行移動ステージ(5) を駆動する平行移動機構ドライブ回路(11)と、半導体レーザ(1) の発振周波数を任意に設定する周波数設定部(9) と、半導体レーザ(1) の他の一方の端面からの出射光(2A)を透過光(2C)と反射光(2D)に2分岐するビームスプリッタ(8) と、ビームスプリッタ(8) により2分岐された反射光(2D)を入射光とし、干渉出力光2Eを出射する光学干渉計(14)と、光学干渉計(14)の干渉出力光を入射し、電気信号である干渉信号に変換する光検出器(15)と、光検出器(15)の出力を入力とし、干渉信号をカウントして干渉縞数に比例した処理信号を出力する干渉信号処理部(16)と、周波数設定部(9) からの設定信号と干渉信号処理部(16)からの処理信号とを比較して平行移動機構ドライブ回路(11)へ帰還する比較器(10)とを備えることを特徴とする外部共振器型周波数可変半導体レーザ光源。

IPC (3)：

H01S 3/1055 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/18