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J-GLOBAL ID:200903014771739764

マイクロ波集積回路付きアンテナ装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993321936
Publication number (International publication number):1995176946
Application date: Dec. 21, 1993
Publication date: Jul. 14, 1995
Summary:
【要約】【目的】 マイクロ波集積回路とアンテナとを同一のプレーナプロセスで容易に製造することができるマイクロ波集積回路付きアンテナ装置を提供する。【構成】 半導体基板上に所定のプレーナプロセスで形成されたマイクロ波集積回路と、上記マイクロ波集積回路上に形成され放射導体と誘電体層とを有するマイクロストリップアンテナとを備えたマイクロ波集積回路付きアンテナ装置であって、上記誘電体層をポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂を用いてかつ上記マイクロ波集積回路と同一のプレーナプロセスで形成した。【効果】 十分なアンテナの帯域を有するアンテナ装置の全てを同一のプレーナプロセスで実行することができ、これによって、製造方法が従来例に比較して極めて簡単になるとともに、製造コストを大幅に軽減することができる。
Claim (excerpt):
半導体基板上に所定のプレーナプロセスで形成されたマイクロ波集積回路と、上記マイクロ波集積回路上に形成され放射導体と誘電体層とを有するマイクロストリップアンテナとを備えたマイクロ波集積回路付きアンテナ装置であって、上記誘電体層をポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂を用いてかつ上記マイクロ波集積回路と同一のプレーナプロセスで形成したことを特徴とするマイクロ波集積回路付きアンテナ装置。
IPC (4):
H01Q 13/08 ,  H01P 3/08 ,  H01P 11/00 ,  H01Q 23/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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