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J-GLOBAL ID：200903014829357573

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  三浦 孝夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991354297
Publication number (International publication number)：1993173333
Application date： Dec. 20, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)放射線に感応して酸を発生する化合物、(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を抑制する性質を有し、酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性抑制効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物、又は酸の存在下で(1)のアルカリ可溶性樹脂と架橋反応を起して(1)の樹脂のアルカリ溶解性抑制効果を発現する化合物、および(4)包接化合物より構成されるポジ型感放射線性樹脂組成物。上記包接化合物は、例えばで表わされる構造の化合物である。【効果】現像性、パターン形状、解像度、耐熱性、フォーカス許容性および残膜性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。

Claim (excerpt)：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)放射線に感応して酸を発生する化合物、(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を抑制する性質を有し、そして酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性抑制効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物、および(4)包接化合物より構成されるポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027