感光性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：友松英爾 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993268205
Publication number (International publication number)：1995104474
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】耐熱性、耐溶剤性、耐水性、電気絶縁性に優れたネガ型感光性樹脂組成物の提供。【構成】加水分解性基含有けい素化合物残基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、活性光線の照射により、該環状オレフィン樹脂と反応し、架橋化合物を生成する光反応性物質(B)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

加水分解性基含有けい素化合物残基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、活性光線の照射により、該環状オレフィン樹脂と反応し、架橋化合物を生成する光反応性物質(B)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (9)：

G03F 7/038 505 , C08F 2/50 MDN , C08G 61/08 NLG , C08L 43/04 LKA , G03F 7/004 503 , G03F 7/008 , G03F 7/028 , G03F 7/075 511 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開平3-095230
特開平3-095235
特開平3-188113

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