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J-GLOBAL ID：200903014834569066

液状レジスト組成物

Inventor： 金谷 大介 ,  小寺 孝兵 ,  池谷 晋一
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992342907
Publication number (International publication number)：1994186735
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 スルーホールコーナー部における塗布性能が良好な液状レジストを提供する。【構成】 通常のレジスト組成にフッ素系界面活性剤を含有させたレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

フッ素系界面活性剤を含有する液状レジスト組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 504 ,  G03F 7/022 ,  H05K 3/06