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J-GLOBAL ID：200903014862064972
多層自己整列型垂直櫛形ドライブ静電アクチュエータ及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (10)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 竹内 英人
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001572407
Publication number (International publication number)：2004500252
Application date： Mar. 22, 2001
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：
複数の第1櫛形フィンガーを有する第1櫛形構造体と、複数の第2櫛形フィンガーを有する第2櫛形構造体とを備え、第1及び第2の櫛形フィンガーが実質的に指を組んだ状態にされる多層垂直櫛形ドライブアクチュエータを製造する方法が提供される。本発明は、これらの多数の層を含む構造体をマスキングしそしてエッチングする段階を含み、第1及び第2の櫛形フィンガーは、同時に製造される。第1及び第2の櫛形フィンガーは、絶縁層又はエアギャップで互いに電気的に分離された2つ以上の積層導電層を含む。或いは又、第1又は第2のいずれかの櫛形フィンガーが1つの導電層のみを含んでもよい。
Claim (excerpt)：
多層垂直櫛形ドライブ構造体を製造する方法において、
多層構造体を用意し、該多層構造体は、
第1導電層と、
第2導電層と、
上記第1導電層と第2導電層との間に配置された第1絶縁層と、
を備えたものであり、そして
上記第1導電層、絶縁層及び第2導電層にパターンをエッチングし、該パターンは、第1櫛形構造体の複数の櫛形フィンガーを画成し、該フィンガーが、第2櫛形構造体の複数の櫛形フィンガーと指を組んだ状態になるようにする方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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