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J-GLOBAL ID:200903014884522559

水素分離膜およびその製造法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 俊夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993255004
Publication number (International publication number):1995136477
Application date: Sep. 17, 1993
Publication date: May. 30, 1995
Summary:
【要約】【目的】 Pd薄膜またはPd合金薄膜よりなる水素選択透過性膜を多孔質セラミックス膜の細孔内に形成させることにより薄膜化を図り、これにより水素透過性を更に改善させた水素分離膜およびその製造法を提供する。【構成】 多孔質セラミックス膜の両側に圧力差を設け、気化させたPd膜源またはPd合金膜源を多孔質セラミックス膜の細孔内に吸引しながら、細孔内でPd膜化またはPd合金膜化させることにより、細孔内にPd薄膜またはPd合金薄膜を形成させた多孔質セラミックス膜よりなる水素分離膜を製造する。
Claim (excerpt):
細孔内にPd薄膜またはPd合金薄膜を形成させた多孔質セラミックス膜よりなる水素分離膜。
IPC (2):
B01D 71/02 500 ,  C01B 3/50
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭62-121616
  • 特開平4-349926
  • 特開昭63-171617
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