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J-GLOBAL ID:200903014887783078

走査型光学顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992090849
Publication number (International publication number):1993288995
Application date: Apr. 10, 1992
Publication date: Nov. 05, 1993
Summary:
【要約】【目的】 エネルギー移動理論に基づいた顕微鏡を提案する。【構成】 この走査型光学顕微鏡は、光学系,駆動系及びこれらの演算制御系とで構成される。光学系は、試料110のエネルギー受容体を励起させその発光を検出するもので、レーザ光源120,探針100,対物レンズ140,光検出器130で構成される。駆動系は、演算制御系の制御により試料110と探針100との相対的な位置を制御するもので、XYステージ240,XYピエゾアクチュエータ230,Zステージ220,Zピエゾアクチュエータ210で構成される。演算制御系は、駆動系及び光学系のレーザ光源120の出力を制御するとともに光検出器130から試料110の像の構築などを行うもので、演算装置150,モニタ160,入力部(キーボード,マウスなど)170で構成される。
Claim (excerpt):
試料中のエネルギー受容体へ非放射的に励起エネルギーを伝達するエネルギー供与体を有する探針と、前記エネルギー供与体を励起する励起手段と、前記エネルギー受容体の励起状態で生じる発光を検出する検出手段と、前記試料と前記探針との相対的な位置を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2):
G02B 21/00 ,  G01N 21/64
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特許第2589907号
  • 特開昭64-064551
  • 特開昭59-032353
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