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J-GLOBAL ID：200903014930377208

光位置・光量検出装置

Inventor： 酒井 覚 ,  中村 裕 ,  肥塚 哲男 ,  安藤 護俊
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993092631
Publication number (International publication number)：1994300518
Application date： Apr. 20, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】より広範囲で光ビームの入射位置及び明るさを検出する。【構成】蛍光ファイバー221〜22mが面状に配列された蛍光ファイバー束22と、蛍光ファイバー321〜32nが面状に配列された蛍光ファイバー束32とが交差しており、交差領域に光ビームが入射すると、蛍光ファイバー内に散在する蛍光物質が励起されて蛍光が放出される。蛍光ファイバー22iの一端から出射した蛍光は、光結合レンズ24Aにより1次元光センサ26Aの受光面上に集光され、蛍光ファイバー32jの一端から出射した蛍光は、光結合レンズ34Aにより1次元光センサ36Aの受光面上に集光される。1次元光センサ26A、36Aは、PSD又はラインセンサであり、光位置演算回路28、38により光ビーム断面SPの位置が検出され、加算器40により光ビームの光量が検出される。

Claim (excerpt)：

蛍光ファイバー(221〜22m)が面状に配列された第1蛍光ファイバー束(22)と、蛍光ファイバー(321〜32n)が面状に配列され、該第1蛍光ファイバー束と交差する第2蛍光ファイバー束(32)と、線上の受光位置及び受光量を検出可能な第1及び第2の1次元光センサ(26A、36A)と、該第1蛍光ファイバーの一端から出射した蛍光を、第1の該1次元光センサの受光面上に集光させる第1光結合レンズ(24A)と、該第2蛍光ファイバーの一端から出射した蛍光を、第2の該1次元光センサの受光面上に集光させる第2光結合レンズ(34A)と、第1及び第2の該1次元光センサの出力信号に基づいて、第1及び第2の該蛍光ファイバー束の交差領域に入射する光ビームの該交差領域内での位置及び該光ビームの光量を検出する信号処理手段(28、38、40)と、を有することを特徴とする光位置・光量検出装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01J 1/02