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J-GLOBAL ID：200903014975413582

硬質薄膜の密着性評価方法及び密着性評価試験装置

Inventor： 筒本 隆博 ,  新田 明 ,  土取 功 ,  中村 和清
Applicant, Patent owner： 広島県
Agent (1)： 三原 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993321000
Publication number (International publication number)：1995146230
Application date： Nov. 25, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】基板に硬質薄膜を被覆した評価対象材料を成膜面に平行な圧縮条件下に供試して膜剥離させ、膜剥離圧縮応力を評価基準として硬質薄膜の密着性を迅速かつ定量的に評価可能とする。【構成】密着性評価試験装置が、供試基板(5)を一軸圧縮するための圧縮手段(1)と、膜の剥離を確認するための膜剥離検知手段(2)と、加圧停止を含み圧縮手段(1)の動作を制御するための加圧制御手段(3)と、表示・出力手段(4)を具備したものとされる。ここで、膜剥離検知手段(2)が、供試基板(5)の膜表面に垂設される接着棒と接着棒の自由端に取り付けられ接着面に曲げ荷重を与えるおもりと接着棒の引倒れとともに膜剥離を感知するセンサーからなり、膜剥離圧縮応力を測定するようにしている。

Claim (excerpt)：

コーティング膜の密着性を評価する方法において、評価対象材料の膜表面に接着棒を取付け、成膜面に平行な圧縮条件下に供試し、膜の圧縮剥離にともなう接着棒の引倒れにより膜剥離を検知し、このときの膜剥離圧縮応力を計測することを特徴とする硬質薄膜の密着性評価方法。

IPC (2)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/00