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J-GLOBAL ID：200903014986102937

隔壁転写用元型の作製方法及び隔壁形成方法

Inventor： 渡海 章 ,  豊田 治 ,  別井 圭一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000306543
Publication number (International publication number)：2002117756
Application date： Oct. 05, 2000
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 感光性材料を用いて、その感光性材料にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射することにより、側壁に適切なテーパの付いた隔壁パターンを有する隔壁転写用元型を安定した高い精度で形成する。【解決手段】 基板上に感光性材料層を形成し、その感光性材料層にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射した後、現像することにより、基板上に適切なテーパの付いた側壁を有する隔壁パターンを形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に感光性材料層を形成し、その感光性材料層にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射した後、現像することにより、基板上に側壁がテーパの付いている隔壁パターンを形成する工程を含んでなる隔壁転写用元型の作製方法。

IPC (8)：

H01J 9/02 ,  B41M 1/10 ,  B41M 3/00 ,  B41M 3/06 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501 ,  H01J 11/02 ,  H04N 5/66 101

FI (8)：

H01J 9/02 F ,  B41M 1/10 ,  B41M 3/00 Z ,  B41M 3/06 Z ,  G03F 1/08 D ,  G03F 7/20 501 ,  H01J 11/02 B ,  H04N 5/66 101 A

F-Term (22)：

2H095BA12 ,  2H095BB02 ,  2H097AA11 ,  2H097BA06 ,  2H097BB03 ,  2H097FA02 ,  2H113AA01 ,  2H113AA02 ,  2H113BA03 ,  2H113BB09 ,  2H113CA15 ,  2H113CA21 ,  2H113FA10 ,  5C027AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19 ,  5C058AA11 ,  5C058AB01 ,  5C058BA09