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J-GLOBAL ID：200903015022871172
走査型干渉電子顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994182480
Publication number (International publication number)：1996045465
Application date： Aug. 03, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】走査型干渉電子顕微鏡において、電子線干渉縞の検出効率を上げ、磁性体試料の微小領域の磁気情報を高S/N比の走査像として観察できる走査型干渉電子顕微鏡を実現する。【構成】電子銃1と偏向コイル4との間にバイプリズム3を設けて試料7を走査する収束電子線2を2点に分割することにより、試料7を透過し再び重なり合った電子線には干渉縞14が生じる。この干渉縞14を、たとえば多重極レンズで構成された電子光学整形器10により、干渉縞14の平行方向に縮小、あるいはその垂直方向に拡大して、電子線の干渉縞14部分を効率良く干渉縞位置変化検出器内に入射させる。
Claim (excerpt)：
電子源から放射された電子線を収束レンズと電子線偏向器とにより試料面上に収束して走査し、該試料面を透過した電子線を検出して上記試料の透過顕微像を表示する走査型透過電子顕微鏡の鏡体に、上記電子線偏向器と電子源との間にバイプリズムを設け、上記試料面上における収束電子線を2点に分離し、かつ、試料透過後に再び重なり合った電子線に干渉縞を生じさせ、上記試料による該干渉縞の位置のシフトを映像信号として検出する検出器を設けた走査型干渉電子顕微鏡において、上記電子線の干渉縞を該干渉縞に平行な方向に縮小、または該干渉縞に垂直な方向に拡大、の少なくともその一方を行う機能を有する電子光学整形器を設けたことを特徴とする走査型干渉電子顕微鏡。
IPC (3)：
H01J 37/26
, H01J 37/147
, H01J 37/22 501
