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J-GLOBAL ID：200903015039834980

化学センサ、及び化学センサの製造方法

Inventor： 杉村 博之 ,  高井 治 ,  金 圭寧
Applicant, Patent owner： 名古屋大学長
Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001320555
Publication number (International publication number)：2003121329
Application date： Oct. 18, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 小型で軽量かつ高感度な、新規な化学センサを提供する。【解決手段】 ポリエチレンオキサイドーポリプロピレンオキサイドーポリエチレンオキサイドの3ブロックからなるブロック共重合体と、テトラエトキシシランとの混合溶液を調整した後、この混合溶液をスピンキャスト法により水晶振動子上に塗布することにより、高分子-シリカ複合膜を作製する。次いで、この複合膜に対して真空紫外光を照射し、前記複合膜の有機物を光分解除去して、表面に貫通したnmオーダの細孔を有するナノポーラス薄膜を作製し、目的とする化学センサを得る。

Claim (excerpt)：

水晶振動子と、この水晶振動子上においてナノポーラス薄膜とを具えることを特徴とする、化学センサ。