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J-GLOBAL ID:200903015083130493
感光性樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
萩野 平 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998143138
Publication number (International publication number):1999338128
Application date: May. 25, 1998
Publication date: Dec. 10, 1999
Summary:
【要約】【課題】可視光に対して透過性が良好で、リブ下部の硬化性が向上し、プロファイル及びリブ形成用ベースとの密着性が良好で、高密度かつアスペクト比が3以上のリブが形成可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いたリブ形成法を提供すること。【解決手段】少なくともエチレン性不飽和化合物、増感色素及びラジカル重合開始剤を含有するフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を層としてプラズマディスプレイ用ベース上に設け、該ベースの裏からの露光処理および該ベースの表からの露光処理を各々少なくとも1回行うことを特徴とするプラズマディスプレイのリブ形成方法
Claim (excerpt):
少なくともエチレン性不飽和化合物、増感色素及びラジカル重合開始剤を含有するフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (7):
G03F 7/004 501
, C08F 2/50
, C09K 3/00
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 9/02
, H01J 17/49
FI (7):
G03F 7/004 501
, C08F 2/50
, C09K 3/00 T
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 9/02 F
, H01J 17/49 Z
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