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J-GLOBAL ID:200903015092730479
ポリイミド前駆体組成物
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993052571
Publication number (International publication number):1994264026
Application date: Mar. 12, 1993
Publication date: Sep. 20, 1994
Summary:
【要約】【構成】 下記式〔I〕で示される繰り返し単位を有する重合体および式〔II〕で示される化合物を含む溶媒を含有する組成物。【効果】 本発明の組成物により、組成物ワニスを用いてスピンコートする場合に従来問題があった膜均一性及び後退現象を防ぐことが可能となる。
Claim (excerpt):
下記式〔I〕で示される繰り返し単位を有する重合体および下記式〔II〕で示される化合物を含む溶媒を含有する組成物。(式中のXは(2+n)価の炭素環式または複素環式、Yは(2+m)価の炭素RはOH、OR’または炭素-炭素二重結合を有する基、Wは熱処理により-CORのカルボニル基と反応して環を形成しうる基、nは1または2、mは0、1または2であり、かつCORとZは互いにオルト位またはぺリ位の関係にある。)(R1 、R2 及びR3 はHまたは飽和炭化水素基であり、かつ常温で液体である。)
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