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J-GLOBAL ID：200903015150849007

ITO焼結体、ターゲット、蒸着用ペレット、それらを用いて形成した膜および表示素子

Inventor： 新田 晃久 ,  石上 隆 ,  八木 典章 ,  菊池 誠
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993334036
Publication number (International publication number)：1995187769
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Jul. 25, 1995
Summary：

【要約】【構成】インジウム、錫および酸素を主成分としてなり、炭素、窒素、ホウ素から選ばれた元素を少なくとも一種添加したことを特徴とするITO膜。【効果】微細加工性を有するITO膜を用いることにより、液晶ディスプレイの大型化ならびに高精細化に対応した表示素子を提供することができる。

Claim (excerpt)：

インジウム、錫および酸素を主成分としてなり、炭素、窒素、ホウ素から選ばれた元素を少なくとも一種添加したことを特徴とするITO焼結体。

IPC (6)：

C04B 35/457 ,  C01G 19/00 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34

FI (2)：

C04B 35/00 R ,  C04B 35/00 J