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J-GLOBAL ID：200903015164617826
光結合構造
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993003051
Publication number (International publication number)：1994208030
Application date： Jan. 12, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：
【要約】【目的】 段差のある基板上に形成した発光素子と受光素子とを容易に結合し、かつ基板への光の漏洩を減少させる。【構成】 基板1上に形成された電子回路2と発光素子3,受光素子4との間に生じた段差を平坦化する平坦化層5を形成し、その後に光導波路6を配設する。
Claim (excerpt)：
電子回路と発光素子及び受光素子とを具備する半導体基板上で該発光素子と受光素子とを結合する光結合構造において、上記発光素子,受光素子のいずれか一方又は両方と上記電子回路とがなす段差を平坦にする平坦化層を形成すると共に当該平坦化層の上層に光導波構造を配設してなることを特徴とする光結合構造。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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