プラズマ・データを分析する方法およびシステム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：合田潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995083943
Publication number (International publication number)：1996062141
Application date： Apr. 10, 1995
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、プラズマ内に存在する気体種を表す検知データの自動化分析を提供することである。【構成】発光分光学(OES)データなど、プラズマ内の気体種を表すプラズマ・データの分析を、コンピュータの対話型使用を介して支援する。OESデータを、ユーザが存在を知っているか存在の可能性を推測している気体に関するユーザからの最小限の入力を用いて、コンピュータによって較正できる。その後、コンピュータは、その気体の存在を仮定し、相対強度ピークをその気体に関する既知の波長に割り当て、較正を行えるようにする。データからの特定の気体の選択的識別も可能である。選択的識別と共に学習機能を使用すると、このシステムは、将来の気体種識別の精度を高められるようになる。特定の波長またはすべての波長での強度など、特定の気体の特定の特性を、時間に対して自動的にプロットすることもできる。

Claim (excerpt)：

複数の気体種を含むプラズマから得た気体検知データをコンピュータに入力するステップと、前記コンピュータに前記プラズマに関する情報を入力するステップと、前記入力情報に基づいて前記コンピュータを介して前記データを自動的に較正するステップと、前記複数の気体種のうちの少なくとも1つを識別するステップとを含む、プラズマ・データを分析する方法。

IPC (3)：

G01N 21/73 , G01N 21/62 , H01L 21/3065

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

プラズマ処理装置のパラメータ監視システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-086895 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-127039
特開平4-122824

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