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J-GLOBAL ID：200903015173774446

NF3排ガスの除害方法及び除害装置

Inventor： 今村 啓志 ,  土屋 宏夫
Applicant, Patent owner： カンケンテクノ株式会社 ,  株式会社セイカハイテック
Agent (1)： 森 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995274821
Publication number (International publication number)：1997085045
Application date： Sep. 27, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 安全で、効率よくかつ低コストでNF3排ガスを処理し、環境汚染の問題がないように無害化するNF3排ガスの除害方法及び除害装置を提供する。【解決手段】NF3を含有する気体に、水とアンモニアガスとを加える。その混合物を還元的雰囲気下で加熱、反応させ、NF3を窒素とフッ化水素に分解させる。生成したフッ化水素をアンモニウム塩として中和、除害する。

Claim (excerpt)：

NF3を含有する気体に、水とアンモニアガスとを加え、該混合物を還元的雰囲気下で加熱、反応させ、NF3を窒素とフッ化水素に分解させると共に、生成したフッ化水素をアンモニウム塩として中和、除害することを特徴とするNF3排ガスの除害方法。

IPC (3)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128