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J-GLOBAL ID：200903015192935612
ポジ型感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997055224
Publication number (International publication number)：1998282669
Application date： Mar. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ないポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の構造の化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- は、分岐状又は環状の炭素数8個以上のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖状、分岐状又は環状の炭素数4〜7個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、もしくは直鎖状又は分岐状の炭素数1〜3個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。
IPC (5)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
