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J-GLOBAL ID：200903015198507957

パターン検査装置及び方法

Inventor： 酒井 覚 ,  安藤 護俊
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994168273
Publication number (International publication number)：1996029138
Application date： Jul. 20, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 微細配線構造を有するプリント基板であっても、十分な画像検出が行えるパターン検出装置及び方法を提供する。【構成】 近年開発された青色発光のLEDが短波長を有し、微細配線パターンの検出に最適であることに着目し、光源にこの青色LEDを使用する。光源1から被検査物SPへ照射された光の反射光により当該被検査物SPの形状検査を行う画像検査装置において、複数の青色LED1が光源として用いられる。そして、被検査物SPを中心として半球面形状のフレーム10にこれら青色LED1を配置する。被検査物SPに対してあらゆる反射面に対して照射光の照射が行われ、パターン検出の精度が向上する。

Claim (excerpt)：

光源から被検査物へ照射された光の反射光により当該被検査物の形状検査を行う画像検査装置において、複数の前記光源は当該被検査物を中心として半球面形状に配列されていること、を特徴とするパターン検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66