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J-GLOBAL ID：200903015208151510

ガス検出方法及びその装置

Inventor： 吉川 研一 ,  加藤 陽 ,  中田 聡
Applicant, Patent owner： フィガロ技研株式会社
Agent (1)： 塩入 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994126887
Publication number (International publication number)：1995311170
Application date： May. 16, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 金属酸化物半導体ガスセンサの温度変化に対する応答波形から、ガス種を正確に決定する。【構成】 温度変化時のセンサ抵抗をサンプリングし、室温付近でのセンサの抵抗値m1とセンサ抵抗の極小値の発現温度m2,抵抗温度依存性m3,並びに極小値の両側での温度依存性の非対称性m4を求める。m2,m3,m4からなる情報空間を定め、ガス種毎に情報空間上での軌道を求め、軌道との距離からガス種を決定する。

Claim (excerpt)：

ガスにより抵抗値が変化する金属酸化物半導体とヒータとを備えたガスセンサを周期的に温度変化させ、温度変化に伴うガスセンサ抵抗の変化をサンプリングしてガスを検出する方法において、少なくとも1点でのガスセンサ抵抗,ガスセンサ抵抗の極小値の発現温度,ガスセンサ抵抗の温度依存性,及び前記極小値の両側でのガスセンサ抵抗の温度依存性の非対称性,を現す4つの因子の内の少なくとも3つの因子からなる情報空間を定めて、検出前に情報空間をガス種毎に分割し、複数の時点でサンプリングしたガスセンサ抵抗から前記の3つの因子を求め、ガス種毎に分割した情報空間上の位置を求めて、ガスを検出することを特徴とする、ガス検出方法。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G08B 21/00