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J-GLOBAL ID:200903015247225520
マンガン酸ナノシート超薄膜およびその製造方法
Inventor:
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,
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002142285
Publication number (International publication number):2003326637
Application date: May. 17, 2002
Publication date: Nov. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】従来法とは全く異なる方法によって、膜厚をサブナノメートルレンジで超微細膜厚制御しうるマンガン酸化物超薄膜とその製造方法を提供しようとするものである。【解決手段】マンガン酸ナノシートが懸濁したコロイド溶液とカチオン性ポリマー溶液を用意し、基板を交互に浸漬する操作を反復することにより、基板上にナノシートとポリマーをそれぞれ吸着させ、該両成分がサブnm〜nmレベルの間隔で交互に繰り返して膜を積層させ、次いでポリマーを除去してマンガン酸ナノシート超薄膜を得ることを特徴とする。
Claim (excerpt):
層状マンガン酸化物微結晶を剥離して得られる2次元結晶子(以下マンガン酸ナノシートと呼ぶ)とポリマーとが交互に積層されてなることを特徴とするマンガン酸化物ナノシートとポリマーとからなる超薄膜。
IPC (3):
B32B 9/00
, B01J 19/00
, C01G 45/02
FI (3):
B32B 9/00 A
, B01J 19/00 K
, C01G 45/02
F-Term (35):
4F100AA02A
, 4F100AA02C
, 4F100AA17A
, 4F100AA17C
, 4F100AK01B
, 4F100AK31
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100BA08
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100GB41
, 4F100JA11A
, 4F100JA11C
, 4F100JL02
, 4F100JM02A
, 4F100JM02C
, 4G048AA02
, 4G048AB02
, 4G048AC06
, 4G048AD02
, 4G048AD04
, 4G048AD06
, 4G048AE05
, 4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BB04
, 4G075BB10
, 4G075CA02
, 4G075CA51
, 4G075EE12
, 4G075FA12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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膜厚の制御された無機超薄膜の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-353446
Applicant:科学技術振興事業団, 三井化学株式会社
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チタニア超薄膜およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-083654
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
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二酸化マンガン結晶の製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-011399
Applicant:三井化学株式会社
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