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J-GLOBAL ID：200903015273340230

感光性樹脂組成物、感光液組成物及び感光性フィルム

Inventor： 中山 一郎 ,  高橋 清一 ,  横出 聖嗣 ,  西原 邦夫 ,  小野 一良
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Agent (1)： 山本 孝久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177715
Publication number (International publication number)：1993257281
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プリント配線板の高密度の導体回路の形成に適した、アルカリ水溶液にて現像可能な感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 感光性樹脂組成物は、平均分子量500乃至50,000のスチレンと無水マレイン酸の共重合物を1分子中に少なくとも1個のヒドロキシル基及び少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基を有する単量体でエステル化したハーフエステル化化合物と、カルボキシル基を有しガラス転移温度5 ゚C乃至150 ゚Cの飽和の高分子から成る。

Claim (excerpt)：

(A)一般式(1)で表されるハーフエステル化化合物と、【化1】(B)カルボキシル基を有し、ガラス転移温度が5 ゚C乃至150 ゚Cの飽和の高分子、から成ることを特徴とするアルカリ水溶液により現像可能な感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/038 501 ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F299/00 MRN ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平2-047657
  
• 特開平2-166452
  
• 特開昭64-055550
  
• 特開昭61-201237
  
• 特開平2-005061
  
• 特開平2-154264