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J-GLOBAL ID：200903015281971177

感光性組成物及びパターン形成方法

Inventor： 塘 洋一
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高月 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993153045
Publication number (International publication number)：1994340802
Application date： May. 31, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 微細加工が可能な光領域(例えば248nmや193nmの波長)においても高い透過率を有する感光性組成物を提供し、また、微細加工が可能なパターン形成方法を提供する。【構成】 ?@ポリカーボネート樹脂を水添して得られる如き、主鎖に-OCO・O-結合を含み、主鎖の炭素鎖が単結合から成る化合物と、光により、-OCO・O-結合を分解する物質を発生する化合物とを含有する感光性組成物。?@上記?@の組成物を用いるパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

主鎖に-OCO・O-結合を含み、主鎖の炭素鎖が単結合から成る化合物と、光により、-OCO・O-結合を分解する物質を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7)：

C08L 69/00 KKL ,  C08G 64/42 NPZ ,  C08K 5/03 KKJ ,  C08K 5/42 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027