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J-GLOBAL ID：200903015289144121

光偏向器、その作製方法、および光偏向器を用いた表示装置

Inventor： 八木 隆行 ,  山本 智子 ,  高木 博嗣
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993016546
Publication number (International publication number)：1994230295
Application date： Feb. 03, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 駆動電圧を低減でき、かつ、偏向角を大きく取ることができる、小型化かつアレイ化が容易である。【構成】 片側上面にV型の溝10を設けた基板1を有し、基板1の上面には絶縁層13を介して固定電極14および固定電極15が所定位置に設けられている。絶縁層13上面には支持部18に支持された機械可動部11が絶縁層13の両端面にそれぞれスペーサ16を介して設けられており、スペーサ16によって機械可動部11と絶縁層13上面の間に空隙111が形成されている。機械可動部11は、光偏向板としてのミラー11aとこの両端にそれぞれ形成される梁11bからなり、梁11bの一端が支持部18に支持されている。また、支持部18、梁11b、ミラー11aは電気導電体薄膜より構成されている。

Claim (excerpt)：

上面に少なくとも一つ以上の固定電極を設けた基板と、該基板上に空隙を介して形成した機械可動部を有し、前記固定電極に電圧を印加することにより前記機械可動部を固定電極方向に空間的に変位させて前記基板に入射する光を偏向する光偏向器において、前記機械可動部が、電気導電体薄膜からなり、かつ、光偏向板を備えており、前記基板には、前記機械可動部を変位させたときの光偏向板の少なくとも一方の自由端が入る溝が穿設されていることを特徴とする光偏向器。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-112006