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J-GLOBAL ID：200903015296817611

オゾン含有水供給装置

Inventor： 大澤 公伸 ,  森田 博志 ,  井田 純一
Applicant, Patent owner： 栗田工業株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998109945
Publication number (International publication number)：1999302002
Application date： Apr. 20, 1998
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】ウェット洗浄工程において、ユースポイントにほぼ一定した濃度のオゾン含有水を供給することができ、しかもオゾンの原料ガスである高純度酸素ガスの使用量を低減することができるオゾン含有水供給装置を提供する。【解決手段】(A)無声放電方式のオゾン発生器、(B)オゾン含有ガスを純水に溶解させるオゾン溶解装置、(C)オゾン含有水と未溶解のオゾン含有ガスとの気液混合流体を送給する気液混合流体送給配管、(D)気液混合流体送給配管からオゾン含有水を取り出す分岐管、(E)分岐管から取り出されなかった気液混合流体を導入し、ガス流と水流とに分離する気液分離装置、(F)気液分離装置に導入される気液混合流体又は気液分離装置から排出されるガス流に含まれるオゾンを分解するオゾン分解装置、(G)ガス流の水分を除去する除湿器、(H)オゾンが分解され、水分が除去されたガス流をオゾン発生器に供給するガス返送管を有するオゾン含有水供給装置。

Claim (excerpt)：

(A)無声放電方式のオゾン発生器、(B)オゾン発生器から供給されるオゾン含有ガスを純水に溶解させてオゾン含有水を生成するオゾン溶解装置、(C)オゾン溶解装置から流出するオゾン含有水と未溶解のオゾン含有ガスとの気液混合流体を送給する気液混合流体送給配管、(D)気液混合流体送給配管からオゾン含有水を取り出す分岐管、(E)分岐管から取り出されなかった気液混合流体を導入し、ガス流と水流とに分離する気液分離装置、(F)気液分離装置に導入される気液混合流体又は気液分離装置から排出されるガス流に含まれるオゾンを分解して酸素ガスに変換するオゾン分解装置、(G)ガス流の水分を除去する除湿器、及び、(H)オゾンが分解され、水分が除去されたガス流を前記オゾン発生器に供給するガス返送管を有することを特徴とするオゾン含有水供給装置。

IPC (4)：

C01B 13/10 ,  C01B 13/11 ,  C11D 7/18 ,  C11D 17/08

FI (4)：

C01B 13/10 D ,  C01B 13/11 Z ,  C11D 7/18 ,  C11D 17/08