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J-GLOBAL ID：200903015315798909
走査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997314894
Publication number (International publication number)：1999149052
Application date： Nov. 17, 1997
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 被測定物を移動することなく被測定物に対して2次元的に走査することができ、かつ装置を小型化できる走査装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1と、レーザ光を平行光束にするコリメートレンズ系2と、平行光束をX方向に偏向させるガルバノミラー3などの偏向手段と、偏向手段にて偏向された平行光束が入射され、被測定物である基板8までの焦点距離が変わらずに被測定物を走査するように集光して出射するfθレンズ4と、fθレンズ4から基板8までの光路長さを変化させずに、偏向手段による走査方向に対して直交するY方向にその移動に応じて基板8への照射位置を変化させる一対の反射面を有する直角プリズム7とを備えている。
Claim (excerpt)：
被測定物に照射するレーザ光を発生する光源と、光源からのレーザ光を平行光束にするコリメートレンズ系と、平行光束をある一平面内で偏向させる偏向手段と、偏向手段にて偏向された平行光束が入射され、被測定物までの焦点距離が変わらないようにかつ上記一平面内で被測定物を走査するように入射した平行光束を集光して出射するfθレンズと、fθレンズから被測定物までの光路長さを変化させずに偏向手段による走査方向に対して直交する方向に、その移動に応じて被測定物への照射位置を変化させる一対の反射面とを備えたことを特徴とする走査装置。
IPC (3)：
G02B 26/10
, G01B 11/00
, G01C 3/06
G02B 26/10 C
, G01B 11/00 Z
, G01C 3/06 A
Cited by examiner (6)
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