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J-GLOBAL ID：200903015328397920

液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： 飯塚 哲也
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 樺澤 襄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992096741
Publication number (International publication number)：1993297415
Application date： Apr. 16, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 フォトリソグラフィー工程を2回に簡略化し、3回のフォトリソグラフィー工程で形成したものと同等な電流-電圧特性をもつ液晶表示装置を提供する。【構成】 ガラス基板11上にITO12および第1の金属層13をスパッタリング法により連続的に成膜する。画素表示電極15およびスイッチング素子14の第1の金属層13のパターニングする。全面にスイッチング素子14の絶縁体層16とスイッチング素子14および配線電極17の第2の金属層18としてタンタル等をスパッタリング法を用いて連続成膜する。絶縁体層16および第2の金属層18を成膜した後、2回目のフォトリソグラフィー工程を用いて、スイッチング素子14の第2の金属層18および配線電極17をパターニングする。第1の金属層13のチタンをエッチングし、画素表示電極15上の第1の金属層13のチタンを除去する。

Claim (excerpt)：

複数の画素表示電極およびこれら画素表示電極に電気的に接続した第1の金属層-絶縁体層-第2の金属層素子構造の非線形抵抗素子を基板上に形成し、この非線形抵抗素子を配線電極により行または列ごとに接続した液晶表示装置において、前記非線形抵抗素子は前記基板上に透明導電膜層を形成して透明導電膜層-第1の金属層-絶縁体層-第2の金属層とし、前記第2の金属層を前記配線電極で形成し、前記透明導電膜層を前記画素表示電極に接続したことを特徴とした液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/136 510 ,  G02F 1/133 550 ,  H01L 27/12 ,  H01L 49/02