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J-GLOBAL ID：200903015329996215

圧力センサー

Inventor： 武藤 栄二 ,  新谷 彰浩 ,  小川 重光 ,  田中 藤登 ,  土屋 宗典 ,  上原 大司 ,  長沢 健二
Applicant, Patent owner： 本田技研工業株式会社 ,  株式会社長野計器製作所
Agent (1)： 木下 實三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993072532
Publication number (International publication number)：1994288852
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡易な構造を有し、容易かつ確実に製造できる圧力センサーの提供。【構成】 厚肉の基板11と、この基板11に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラム12とを備えた静電容量式の圧力変換素子10の基板11側の電極31〜33を基板11の背面15に取り出すために基板11を貫通する電極穴45〜47を設け、この電極穴45〜47の中心部分に形成されたスルーホールにより、空間30内に圧力測定の基準圧となる大気等の流体を導く通路を確保した。

Claim (excerpt)：

厚肉の基板と、この基板に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラムとを備え、これらの基板と弾性ダイヤフラムとの対向面の各々に対向する電極が設けられ、前記弾性ダイヤフラムに加わる圧力を前記電極間の静電容量の変化により検出する圧力センサーであって、前記電極のうち基板側の電極用の電極端子は前記基板の電極設置面とは反対側の面に設けられ、前記基板側の電極とこの電極用の電極端子とを導通する導通部が前記基板を貫通するように設けられた電極穴の内壁面に形成され、この導通部に囲まれるように前記電極穴の中心部分にスルーホールが形成され、このスルーホールは前記基板と前記弾性ダイヤフラムとの間に形成された空間内に圧力測定の基準圧となる大気等の流体を導く通路となっていることを特徴とする圧力センサー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特表平3-501060